跟着半导体主动化本事的敏捷进展，AMHS形式正正在经验一场改造，单仰仗轨道铺设的OHT陈设历程难度大、造价高，目前惟有12寸及以上的尖端晶圆筑筑厂才有时机引入;而兼具自决搬动和操作机能的晶圆搬运机械人拥有高柔性和高效用的特质，正成为各泰半导体工场物流主动化的新遴选。

　　行为国内晶圆搬运机械人头部企业代表，优艾智合机械人针对半导体出产打造了笼罩堆栈到线边缓存、Inter Bay到Intra Bay，以及Intra  Bay间主动化上下料等全场景的晶圆搬运机械人物流主动化处置计划，任职了台积电、中芯国际等稠密环球着名半导体厂商。

　　优艾智合自决研发的Fusion  SLAM算法，能够告竣晶圆搬运机械人的跨场景或者正在纷乱境遇下以亚毫米级的精度连结不乱搬动，同时能正在正在不息机的情形下适配厂区扩容、筑造更新、组织调动等现实改变。与此同时博鱼电竞机器人，YOUI  TMS软件体系能够及时与RTD、EAP、MCS的数据交互，遵照整厂的出产节律智能天生和拆合物流订单，让物料集约化地流转，确保物流归纳效用更优。

　　正在机能方面，晶圆搬运机械人不单要餍足半导体车间干净度等硬性目标的央浼，还要适配更多品种的夹具博鱼电竞，以餍足全部半导体出产筑造的上下料需求，且晶圆搬运机械人的单体智能要足够强，保障出产良率、降低产能，让出产更柔性。

　　正在体系协同方面，晶圆搬运机械人行为首要运输筑造，须要契合SEMI的造定准则央浼，也须要与主流聪颖出产体系协同买通博鱼电竞。这也对晶圆搬运机械人软硬件体系的绽放性提出了更高央浼。

　　优艾智合历经两年打磨推出的OW系列，可餍足CLASS-1无尘室级其它央浼，平常搬运时的振动值正在0.2G以内，优于国际SEMI准则轨则的0.5G，正在Intra  Bay，OW系列接济迅捷换装针对FOUP \ SMIF Pod \ Open Cassette \ Shipping Box \  Magazine等多种治具的套件，除晶圆搬运表博鱼电竞，也许餍足绝大无数半导体规模的机台上下料需求。晶圆搬运机械人职业于强辐射、高干净等第、高颠簸等第央浼的场景，具备高度的场景适配性机器人。

　　另日，优艾智合将永远深耕半导体行业，营业笼罩第一、二、三代半导体筑筑的衬底、表延博鱼电竞、FAB、掩模、封测等细分规模的全出产合节，帮力告竣Fully  Auto。晶圆搬运呆板人破解半导体整博鱼电竞厂主动化困难